微小气体质量流量控制器

1.产品介绍 
1.1 用途与特点
质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器.

1.2 工作原理
CF 系列气体质量流量控制器**的精度、坚固性及可靠性源于我公司*特的传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器，能自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到**气体温度的一个常数值，然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器（RTD）。白金 RTD 丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴
上，牢固且可靠。整个传感器密封在 316 不锈钢包装壳内。

3.功能操作详解 
3.1 综述
CF 系列流量计使用一个带背光的点阵液晶显示器，直观清晰的显示出多种有用的流量数据，包括：瞬时流量、累计流量和温度等。CF 具有不同的显示画面，它取决于定货的型号，如流量计或控制器、电流输出或电压输出等。整个 CX 系列具有统一的主显示画面、气体选择画面（特定气体时本画面可能无效）、校准画面、设备信息等。
在主画面状态下，轻按流量计右下角的[MENU]按键可以切换显示画面到菜单画面
4.注意事项 
4.1 加装过滤器
 使用气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器，如果流量计出口接
有液体源瓶，应在流量计出口加装单向阀，防止液体回流损坏流量计。
4.2 使用腐蚀性气体
流量计通道采用的材料为：SUS 316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS 417J1（00Cr30Mo2）, 氟
橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清晰、使用得当的条件下，可以用于控制
一般的腐蚀性其他使用强腐蚀性气体和**溶剂气体时，应在定货时声明。 使用特殊腐蚀
性气体，所有密封材料都要作相应改变。
4.3 安装位置问题
本控制器安装时较好保持安装面水平，但对位置并不特别敏感， 可以任意位置安装，
非水平位置安装时若发现零点偏移，可以调整零点后在工作。
4.4 阀口密封问题
质量流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当截止阀使用, 用户应另配截
止阀。特别是用户使用腐蚀性气体，通常应该在质量流量控制器进出气口各加一个截止阀，
以保证工作安全。长期工作后, 如果控制器阀口的漏气率在 2%F.S 以内, 是属于正常情况。
如果漏气大于满量程的 2%, 则应进行维修。
4.5 标定与不同气体的换算
本流量质量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。如果要求用使用气体标定，需要在订货时
与销售人员特别申明。
用氮气标定的流量控制器用户使用其它气体时，可以通过附录的转换系数进行换算。
气体质量流量计 氮气质量控制器 二氧化碳质量流量控制器 一氧化碳质量流量计.